ピエゾドライバを3軸分内蔵したコントローラです。
●軸にデジタルセンサ入力を備え、ピエゾ特有のヒステリシス曲線を補正し、クローズドループ制御を可能にします。
●RS232C、GP-IBまたはUSBインターフェイスを介して接続し、パソコンから簡単な命令を送ることでファインステージを制御することができます。